某光电器件电子器件工艺制作厂在晶圆工艺期间中,选用硅烷来进行硅本质种子发芽,排放洗涤剂塔制造高浓硫酸浓度含硅工业废污水。工业废污水兼备pH下降大(2-11)、硅纯度高的优点和缺点,中国传统工作策略易发现硅垢赌塞的问题。
废污水成分表及来历
生产废水最主要组成成分为:
熔化分解性硅酸盐
:SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L
氢脱色钾/氢脱色钠
:洗涤剂剂塔碱酸洗涤剂剂液残余物
小粒硅
:纳米技术级SiO₂固体
痕量砷
:主料不溶物带到
办理加工制作工艺 标准流程
企业创新选择"多级采和+膜净化+蒸发器凝结"的工艺:
一级通过成绩采和
:用CaO设定pH至4-5,转化硅酸钙结晶,硅彻底清除率60%。
二次中合
:加Na₂CO₃将pH提拔至9,进一歩沉积其他硅,电容串联用镁剂除砷。
超滤膜操作系统
:0.02μm陶瓷制品膜滤出nm级硅顆粒,通量不稳在80LMH。
MVR汽化器
:浸提高盐污废水 ,凝结出Na₂SO₄副品牌,水使用率超90%。
不可能郊果
总硅从1500mg/L减至5mg/L下列
砷含锌量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
软件无积垢程序运行可超过2年
每一年的回收并硝酸钠钠结晶体约800吨