该厂为8屏幕尺寸晶圆制造线配套工程的超去离子水模式,每晚引发含硅废水加工方法150吨。废水加工方法中虽无高价属,但硅水平高易水垢,且阻值率需达到了18MΩ·cm方可造纸废水加工。原本加工施工工艺就没有办法需要满足新制定的《电子器件工业企业水影响物排污标准的》(GB39731-2020)很大排污卫生防护距离。
焦化废水的成分结构特征
核心废弃物物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(孔径0.1-1μm)
特有想要
:TOC<10μg/L,硼分量<5μg/L
水的硬度优点
:低导电率(<50μS/cm)但硅有机化合物性状缜密
治理 制作生产流程图
科学创新用到"梯级膜脱离+电去化合物"结构加工制作工艺 :
微滤预操作
:1μm陶瓷图片膜手机拦截大颗粒剂硅,通量维系80LMH
阳离子交互光敏树脂
:D201大孔不饱和树脂选泽性吸附物硅酸碳原子
两级RO设计
:第1段收集率60%,第二名段用于高脱硼膜元器件封装
EDI电去化合物
:交流电强度2A/m²,定期取除残留物正离子
紫外线除臭
:254nm太阳光的紫外线灯线含量40mJ/cm²
高技术优点
开发设计常用阻硅剂(无机胺类包覆物),减慢膜环保问题期限3倍
EDI信息模块多元化流道来设计,硅去掉率的提升至99.8%
优酷云硅分折仪(精确测量区间0.1-500μg/L)实现目标精确把控
程序运行阶段性成果
经3方查测:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼纯度从8μg/L降到0.3μg/L
体统收旧率从原40%增加至68%
膜改换频次拉长至5年,年正常运行价格缩减35%