该晶圆营造厂坐落苏北地,重要生產85英寸半导体芯片晶圆,单日工业废水消费量下跌量约800吨。考虑到生產时候中选择非常多的盐酸开始晶圆蚀刻,影响工业废水下氟化物浓硫酸浓度高至200-300mg/L,远超的国家消费量下跌基准(10mg/L下)。
化工废水基本成分及来源地
废水处理工艺包括来源以下三个缓解:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高质量浓度氟化物(HF)、氰化钠及一少部分巨资属
催化机械化cnc精密机械加工(CMP)生活污水
:含纳米级级硅颗料、生物碳络合剂
机洗涤焦化废水
:含异丙醇、挥发酚等有机会物
进行处理制作工艺标准流程
用到"普通机械沉垫+混凝土沉垫+进一步过滤体系"三级视频外理体系:
1阶段治理
:加药氯化钙和氢硫化钙,形成了氟化钙放置,氟化物取除率达85%
一级整理
:加入PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),我们要除固体态污染问题物
三级考试加工处理
:借助多物料过滤系统器和可溶性炭吸,喷水氟化物有机废气浓度可靠在8mg/L一些
要素整体分为:pH全自动自动调节整体、斜管石雕文化污水浓缩池、板框压泥机(污水脱水烘干)。
决定性郊果
内容正常运作四年监控大数据信息显示:
氟化物年均浓度值:7.2mg/L(如果低于政府规范标准)
COD彻底清除率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副护肤品约150吨,达到网络循环经济凭借