半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
业务蓝本
该半导中小型企业最靠近长三边形城市,主要是生育销售89厘米和129厘米晶圆,日进行废气排放废储水量约2000吨。鉴于生育销售工艺流程更复杂,废泥中富含多类难降解塑料巧妙物和高价属正离子,过去处置方式 不易于充分考虑渐趋严格执行的进行废气排放准则。
废气化学物质及来原
污水最主要是因为以下部分:晶圆切开污水有效巨大硅粉和切开液留下;耐腐蚀厂家打磨污水包含橡胶胶体部分硅和碾磨粒子;刻蚀刷洗污水有效氟化物、铜亚铁离子等巨资属;光刻技艺污水则有效光阻剂等有机酸造成的排放物。水质标准亮点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物含量高(200-400mg/L)、透明桌面物多且有效微量分析巨资属。
办理加工过程的流程
所采用"有机化学预除理+生化学除理+高度除理"的组成技艺:
调控池平均环境质量排水量
沥青混凝土乳浊液洗去悬浮按钮物和胶体溶液物
化学上的发展法专门的治疗氟化物,加药钙盐建立氟化钙发展
蛋白质水解碱化池改善废水处理工艺可血生化性
接触性腐蚀池分解充分严重污物
活性酶炭过滤塔开始深度.治疗
膜隔离体系抓实冒水饮用水质可靠
涉及含铜生产废水另外软件设置阳离子互转软件,回收公司有商业价值的金属件铜。
然后效用
活动俊工后开机运行相对稳定,满水后COD<50mg/L,氟化物溶液含量<5mg/L,铜铝离子溶液含量<0.3mg/L,几项招生指标均高于国家地区《网上企业水感染物排卸口规范》(GB 39731-2020)。常年可减低COD排卸口约300吨,氟化物排卸口约50吨,收售铜金属质约2吨,改变了自然环境利润与经济实惠利润的诚信。