半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
该项目情况
该各个单位为国际智领的半导体材料测封各个单位,坐落长三角地区形区县,最主要实行品质治疗芯片的小学划片和二极管封装测试测试。是由于本市环保标准的标准非常严格,各个单位影响进行电镀废水零摆放工程建设。内容于2020年初始化,2026年6月完成动工,治疗融资规模为200吨/日,总融资约2000万美元。
焦化废水有效成分及来源于
此项原因片区废液含有下的特点:
高质量浓硫酸浓度氟化物,主要的出自于晶圆裁割后的洗掉工作,氟正离子质量浓硫酸浓度万代高达150-200mg/L
有效奈米级硅粉颗粒肥料,颗粒直径多在100-500nm中
设计加热器端差较高,COD在500-800mg/L
富含微量分析巨资属如铅、镉等
电阻率高,普通在2000-3000μS/cm
除理技艺程序流程
为保证 零的排放梦想,加工制作工艺 装修设计侧重选择废液各类征集和资源性回报:
生产废水划分类别整理系统性
:将含氟污水与一些污水分开用获取
化学式发展除氟
:利用多级钙盐沉淀物物法,加上科学规范沉淀物物池
最高级阳极氧化操作
:三氧促使硫化降解塑料难清理有机肥料物
膜精提平台
:所采用DTRO碟管式反参透,浓缩液公倍数为10倍
蒸发器晶体
:MVR机诫蒸气再压缩视频汽化器办理浓水
粗糙系统性
:将晶粒盐烘干后作工业企业加工品的外售
加工处理特效
控制系统正常运行数值凸显:
氟化物弄掉率>99.9%,留水氟阴阳离子<1mg/L
COD总清除率>98%,水流COD<20mg/L
水市场二手回成品率>95%,仅引起一少部分沉淀盐
年可再生资源公司高品级回收利用水约5万吨
成果盐含量提升工业化级规格,保持信息化利用
工作既满足了焦化废水零尾气排放,还完成影视废物回收处理带来了约80万的大写/年的上限受益。