半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
楼盘经验
这品牌坐落在珠三角地区形地段某国家地区级半导体芯片家产苑区,公司重要生产制造8厘米和12厘米晶圆,日常量高达2万片。随之扩产持续,改变的污废水 治理 整体已没办法需要满足环保健康想要,肯定需要持续工程建筑。品牌总投资人约1300万元,设汁治理 力量为300吨/日,于2023年建设成投入使用。
废水处理方法材料及主要来源
该商家晶圆片区环节出现的废液重点涉及接下来有效成分:
切割器时候中的使用的机磨液残渣物,包括组分为二阳极氧化硅顆粒、的表面特异性剂和可挥发加入剂
晶圆表明的洗涤会产生的含氟废水处理方法,氟正离子溶度在80-120mg/L
一些天价属阳离子如铜、镍等,由来于切割器手段损耗
有机会相转移催化剂无残留,例如异丙醇、异丙醇等
pH值变化明显,一般是在4-10彼此
整理鑫霖环保操作流程
面对工业废水特征参数,设计构思通过"物理预解决+生化学解决+纵深解决"的组成方法:
设定池
:营养均衡饮用水容量,制定pH迅雷环境监测数据和自动的加量体统
混凝土沉淀出的
:污泥脱水PAC和PAM,我们要除漂浮物和电解质溶液有害物质
气浮單元
:所采用溶气气浮工序进一部除掉很小颗粒肥料和组成部分可挥发物
生物化进行处理
:使用MBR膜海洋生物影响器,污泥处理渗透压长期保持在8000-10000mg/L
程度除理
:化学活化炭活性炭吸附+反融于生产技术,抓好喷水达到标准
活性污泥加工处理
:板框压滤机厂家脱水怎么办,飞灰含水分率调至60%一下
进行处理结果
控制系统可靠正常运行后,喷水水质量完全性达标《自动化工業水严重污染释放条件》(GB39731-2020)特备释放最大限度标准要求:
COD<30mg/L
氟化合物<5mg/L
漂浮物<10mg/L
天价属杜六房加盟总部的完成指标均不高于标准值
产品次年可以减少危害物污染物量约COD 32吨、氟化物8.5吨,循环水率达到75%综上所述,为中小企业减少有水费收支约130万元/年。